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SR系列膜厚傳感器

簡要描述:國產膜厚儀,SR系列膜厚傳感器提供快速、穩定的膜厚在線量測解決方案。

產品型號:  更新時間:2025-04-27  瀏覽次數:2805

  • 廠家實力

    Manufacturer Strength
  • 有效保修

    Valid Warranty
  • 質量保障

    Quality Assurance

詳細介紹

一、產品概述

SR系列膜厚傳感器提供快速、穩定的膜厚在線量測解決方案。

 

二、產品特點

■ 操作簡便、小巧易安裝;

■ 高速、高分辨率

■ 多款定制測頭滿足多場景需求;

■ 寬光譜涵蓋多膜厚需求應用;

■ 適用在線膜厚量測與質量評估

■ 寬光譜實現多應用場景需求


三、測量原理

SR干涉原理.png

image.png

 

 

image.png

 

技術參數

圖片1.png

 *1:用玻璃的折射率1.5計算

*2:用硅的折射率3.67計算

      *3:測量500 nmSiO2厚度的1σ

             *4:測量厚度大于30µm的Si膜的1σ

圖片2.png

    

武漢頤光科技有限公司(Wuhan eoptics Technology Co., Ltd.)是國內專業從事橢偏儀以及光學納米測量設備研發、制造與銷售的高新技術企業,公司由多位具有二十多年偏振光學測量經驗的專家聯合創辦,與華中科技大學緊密合作,是國內橢偏光學儀器領域頗具優勢的技術團隊。

公司注冊于武漢東湖國家自主創新示范區,立足光谷,面向全球,為科研和工業用戶提供儀器、軟件、服務等綜合解決方案。

產品廣泛應用于集成電路、半導體、光伏太陽能、平板顯示、LED照明、存儲、生物、醫藥、化學、電化學、光學鍍膜、光刻材料等眾多領域。

 

 

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